HORIBA堀场蒸汽浓度控制器

易安装

• 只需将现有压力控制器更换为 VCC-100

占地空间小

• 除压力控制器外，长度仅 50 mm

易用

• 只需设定目标浓度
• 无需连接到其他组件（例如，质量流量控制器）

2 种控制模式

• 浓度控制：VCC-100 可用作浓度控制器

• 压力控制：VCC-100 可用作提供浓度输出的压力控制器

• 型	VCC-110 系列	VCC-120 系列
  单元格长度	5 毫米	50 毫米
  目标化学品	TMGa、DEZn、IPA	TMIn、TMIn、TEGa、TMGa、TMAI、DEZn、IPA
  目标流速	0.3 - 10 SLM
  工作压力	30 - 300 千帕斯卡
  电池温度	60 摄氏度
  拟 合	1/4 VCR 公头
  通信	模拟 / 数字， DeviceNet
  功率要求	+/-15 V DC（模拟/数字） 24 V 直流 （DeviceNet）
  加热器功率	200 - 240 伏交流电
  尺寸	155 x 59 x 140 毫米

  
  
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