HORIBA堀场混合注入系统液体汽化器

• 气液混合物汽化方法确保稳定地汽化高沸点液体
• 紧凑设计便于集成
• 汽化效率高于传统汽化方法
• 产生更大流量
• 汽化温度降低

测量技术

注入方式
以下是汽化液体源并将其输送到处理室的主要步骤。
1. 测量液体源的流量，并通过阀门反馈和控制液体量。
2. 液体瞬间汽化。
3. 气体被释放，防止凝结成液态。

由于载气在注入器内部喷嘴前的压力较高，因此可以获得有效加热。液体源和加热的载气在喷嘴前的气液混合区混合在一起，当混合物通过喷嘴时，压力降低，混合物进而汽化。

外形尺寸