优点:
- 适用于高真空环境：不锈钢机身
- 抗腐蚀：PTFE 机身可选
- RoHS 标准
当排气流量被调整到适合水平：
- 抗蚀剂以薄膜形式均匀分布
- 防止烟雾的二次沉积
- 防止危险蒸气扩散
与流量传感器控制相比，由抗蚀剂和其他污染物累积引起的灵敏度变化较小，同时消除了湍流和其他噪声的影响，确保控制精准、稳定、迅速。
| 型号 EC- | 5104 | 5105 | 5202 | |||||||||||||||
| 兼容尺寸 | 西北 40 | 西北 50 | 25 mm PTFE 接头 | 1 英寸 PTFE 接头 | ||||||||||||||
| 气体接触区域的材料 | SUS316L、氟橡胶 | PTFE， PEEK， 氟橡胶 | ||||||||||||||||
| 电导 | 0.4 至 80 升/秒 | 0.6 至 200L/s | —— | |||||||||||||||
| 100 mm H2O | 20升/分钟 | 25升/分钟 | 3升/分钟 | |||||||||||||||
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外形尺寸
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